Novpeak 4500-1 LDLS激光驱动光源

激光驱动白光光源（LDLS）是由一个特殊设计的灯室，驱动激光光源，激光聚焦光路，光源输出光路，光源控制器等主要部分组成。和传统电致发光光源原理不同，其采用无电极结构，将外置1000 nm 左右波长的激光汇聚到光源灯室中，加热氙等离子体至足够高温时便会发光。

LDLS 有高效的光收集能力，亦可在深紫外至可见光以及更宽的光谱范围（170 nm ~2450 nm）内提供超高发光亮度，其在DUV 的亮度是传统光源如氙灯的10 倍以上。整个光源的发光寿命相比较于传统光源高出近一个数量级（>9000 h），且稳定性得到了极大的提高。适合应用于宽光谱检测、OCD 量测、薄膜测厚、overlay 量测、in situ 量测、反应腔监控、终点检测等半导体领域，以及光学传感器/组件/光纤检测、生物/材料科学等领域。为目前在使用传统弧光灯，出现频繁更换、波长覆盖不足、亮度不够的用户，提供了一个全新的选择。

应用场景:科研仪器测量模块搭建

应用方向:

半导体材料、新能源材料、生命科学、3C电子等

   - 性能参数 -

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