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光源模块

详细介绍

Novpeak 4500激光驱动光源(国产自研-超连续宽谱光源)


激光驱动白光光源(LDLS)是由一个特殊设计的灯室,驱动激光光源,激光聚焦光路,光源输出光路,光源控制器等主要部分组成。和传统电致发光光源原理不同,其采用无电极结构,将外置1000 nm 左右波长的激光汇聚到光源灯室中,加热氙等离子体至足够高温时便会发光。

LDLS 有高效的光收集能力,亦可在深紫外至可见光以及更宽的光谱范围(170 nm ~2500 nm)内提供超高发光亮度,其在DUV 的亮度是传统光源如氙灯的10 倍以上。整个光源的发光寿命相比较于传统光源高出近一个数量级(>9000 h),且稳定性得到了极大的提高。适合应用于宽光谱检测、OCD 量测、薄膜测厚、overlay 量测、in situ 量测、反应腔监控、终点检测等半导体领域,以及光学传感器/组件/光纤检测、生物/材料科学等领域。为目前在使用传统弧光灯,出现频繁更换、波长覆盖不足、亮度不够的用户,提供了一个全新的选择。

应用场景:科研仪器测量模块搭建


应用方向:

半导体材料、新能源材料、生命科学、3C电子等

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性能参数


型号

Novpeak 4500

关键性能指标

单位

规格参数

波长范围

nm

170-2500

光谱辐射亮度(Typ.)

mW/(mm2.sr.nm)@500nm

>50

输出光总功率(Typ.)

W

0.75W、4W、6W、15W

数值孔径(NA)

/

0.5

功率稳定性

/

±0.3%

输出方式

/

自由空间输出

使用寿命(Typ.)

小时

10000

总功率衰减

/

10000 小时衰减<10%

质心空间稳定性

um/h

< 5

发光点尺寸(Typ.)

um

140*450

热机时间

min

30

激光等级

/

Class1

是否需要接地

/

外观尺寸

灯室尺寸

mm

185 x 133 x 107

光源驱动器尺寸

mm

164 x 320 x 157

注:公司提供订制开发服务,如有非标使用要求请咨询客服。

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