详细介绍
Novpeak 4500激光驱动光源(国产自研-超连续宽谱光源)
激光驱动白光光源(LDLS)是由一个特殊设计的灯室,驱动激光光源,激光聚焦光路,光源输出光路,光源控制器等主要部分组成。和传统电致发光光源原理不同,其采用无电极结构,将外置1000 nm 左右波长的激光汇聚到光源灯室中,加热氙等离子体至足够高温时便会发光。
LDLS 有高效的光收集能力,亦可在深紫外至可见光以及更宽的光谱范围(170 nm ~2500 nm)内提供超高发光亮度,其在DUV 的亮度是传统光源如氙灯的10 倍以上。整个光源的发光寿命相比较于传统光源高出近一个数量级(>9000 h),且稳定性得到了极大的提高。适合应用于宽光谱检测、OCD 量测、薄膜测厚、overlay 量测、in situ 量测、反应腔监控、终点检测等半导体领域,以及光学传感器/组件/光纤检测、生物/材料科学等领域。为目前在使用传统弧光灯,出现频繁更换、波长覆盖不足、亮度不够的用户,提供了一个全新的选择。
应用场景:科研仪器测量模块搭建
应用方向:
半导体材料、新能源材料、生命科学、3C电子等
性能参数
型号 | Novpeak 4500 | ||
关键性能指标 | 单位 | 规格参数 | |
波长范围 | nm | 170-2500 | |
光谱辐射亮度(Typ.) | mW/(mm2.sr.nm)@500nm | >50 | |
输出光总功率(Typ.) | W | 0.75W、4W、6W、15W | |
数值孔径(NA) | / | 0.5 | |
功率稳定性 | / | ±0.3% | |
输出方式 | / | 自由空间输出 | |
使用寿命(Typ.) | 小时 | 10000 | |
总功率衰减 | / | 10000 小时衰减<10% | |
质心空间稳定性 | um/h | < 5 | |
发光点尺寸(Typ.) | um | 140*450 | |
热机时间 | min | 30 | |
激光等级 | / | Class1 | |
是否需要接地 | / | 是 | |
外观尺寸 | 灯室尺寸 | mm | 185 x 133 x 107 |
光源驱动器尺寸 | mm | 164 x 320 x 157 |
注:公司提供订制开发服务,如有非标使用要求请咨询客服。