详细介绍
氧碳测试仪 | 碳氧测试仪

型号:Novpeak-160 wafer
产品概述
研究级傅立叶变换红外光谱仪(氧碳测试仪),是分析单晶硅中氧和碳元素含量的专业设备,其独特的创新技术和精巧设计为新一代红外光谱仪树立了标准。
傅立叶红外技术可以快速、灵敏、无损地分析单晶、多晶硅材料中的碳氧含量,因此它在硅材料质量控制领域被广泛接收和应用。
根据ASTM/SEMI MF1391标准,建立了室温硅中代位碳原子含量分析测试方法。
根据ASTM/SEMI MF1188标准,建立了室温硅中间隙氧含量分析测试方法。
可达超低检出限:<400ppba
建议样品特征:厚度0.5-2.5mm,双面抛光,单晶或多晶型。
产品特点:
可选升级至工业机台,实现与产线工业机器人对接,实现工业检测自动化,有助于简单的工作流程
可满足小尺寸硅片、晶圆电池片、裸硅原片等各种尺寸样品测试
可定制化开发,满足工业现场防尘、防潮、防震需求
软件可兼容质量数据管理处理系统、MES、LIMS系统等
先峰(陕西)科技公司长期扎根于半导体与新能源行业,服务众多晶硅、电池行业头部企业用户,凭借专业级的软硬件产品为晶硅材料生产提供质量保障,为企业研发测试、应用开发提供技术支持,努力提高产品迭代与创新速度,助力用户打造的优秀产品力。
重点应用客户:
天合光能、双良硅材料、旭日东升、隆基绿能、爱旭太阳能、大全新能源、京运通新材料;
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